羅茨真空泵的最大優點是在較低入口壓力時具有較高的抽氣速率，但它不能單獨使用，必須有一台前級真空泵串聯，待被抽系統中的壓力被前級真空泵抽到羅茨真空泵允許人口壓力時，羅茨真空泵才能開始工作，並且在一般情況下，羅茨真空泵不允許高壓差時工作，否則將會過載和過熱而損坏，因此使用羅茨真空；泵時必須合理地選用前級真空泵，安裝必要的保護設備。 前級真空泵一般為油封機械泵，但如果極限壓力要求不高時，可選用其他形式的粗真空泵作為前級泵。特別在抽除有大量水蒸汽的氣體時，選用水環真空泵作為前級泵是很理想的，當然所能達到的極限壓力要差些.
1、噪音低（高精度的動平衡）.
2、可實現過載保護（溢流閥的設置）.
3、在較寬的壓力範圍內有較大的抽速 .
4、可抽除高沸點工作介質（氣體保護裝置的設置）.
5、檢測方便（進、排氣口處設有檢測接口） .
6、對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感 .
7、驅動功率小. |
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